光譜共焦位移傳感器
小尺寸、大量程
超大角度、高重復精度
0.09um線性誤差
幾乎不受材質、形狀和反光的影響
±62°的超大鏡面測量角度
僅一個控制器即可支持4通道同步測量
產品概述
Product Description
- 系統包含控制器、光纖、傳感頭
- 控制器具有出色的信噪比,適合高動態測量任務。優異的表面補光技術可以快速調節曝光時間,適應快速變化表面的反光特性確保高精度測量。
- 光纖采用不銹鋼套管及特殊硅膠材質包裹,輕松應對拉伸負載、彎曲、側壓等復雜環境傳感頭內不含有電子元件,杜絕發熱導致夾具變形,影響測量精度。
傳感頭
控制器
原理簡介
Principle Introduction
一束白光(或多波長混合光)經過一個小孔,經過鏡頭將不同的波長聚焦到光軸上，色散的形成一條彩虹狀分布帶,照射到樣品上,表面部分反射光反射回去。
沒有照射在光軸與物體表面交點的光經過分光部件，照射在另一個小孔周圍被阻擋，無法照射到光譜分析儀，不會被干擾測量
產品優勢
Product Advantages
幾乎不受任何材質、形狀和反光影響多種材質亦可完成高精度測量
對各種材質及光照條件適應性強
超大測量角度
- 良好的角度特性和極限分辨率
- 可實現鏡面表面士62°,漫反射表面士88°超大角度測量
- 可精確測量帶有角度或弧度目標物的3D輪廓
支持四通道同步測量
- 一個控制器可支持四個傳感頭
- 可實現低成本的高精度測量
- 提高精度,降低成本
極小的測量光點納米級分辨率
- 測量光束在整個測量范圍內具有超高的分辨率和精度光點最小可至2.48um,超強收光能力
- 持續超小尺寸測量光點,測量出清晰的外形輪廓
- 橫向分辨率是測量光點的一半,無需刻意放大光點尺寸,特別適合測量微小幾何結構和輪廓變化
每秒72000次超高速測量
- 多功能光譜共焦控制器,實現出色的信噪比,確保高精度高穩定性測量
- 特別適合超高速、高動態檢測任務,實現72k/s業界最高測量頻率
- 快速表面補光技術可實時動態調整照明亮度和補光時間,實現了對反光特性快速變化表面的穩定測量
不受空間和測量區域限制
重復最小誤差僅士0.04um
- HPS-CF系列光譜共焦位移傳感器為共焦光路,相較于普通激光位移傳感器,不容易受到空間中各個表面的反射干擾,因此無測量方向的限制,尤其在測量一些盲孔、窄縫等狹小的區域,具備獨特的優勢
- 幾乎適用于各種材質的精確測量
完備的SDK及一站式軟件支持服務
- 安裝簡單，不受使用場所和用途限制
- 程序設定智能,頁面菜單簡介明了，操作簡單易上手
- 量身定制,售后無憂
| 型號 | 工作距離（mm） | 測量范圍（mm） | 非線性誤差(μm) | 角度特性 | 光點大小(μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| HPS-CFL005 | 4.06 | ±2.395 | 2.7 | ±8.2° | 25 |
| HPS-CFL007 | 6.5 | ±0.8 | 3.2 | ±10° | 50 |
| HPS-CFL008A | 9.2 | ±0.67 | 0.57 | ±15.5° | 16 |
| HPS-CFL008B | 4.1 | ±0.544 | 0.28 | ±28.2° | 13 |
| HPS-CFL010 | 7.5 | ±1.25 | 6 | ±12.5° | 60 |
| HPS-CFL010B | 4.2 | ±0.34 | 0.4 | ±30° | 13 |
| HPS-CFL015 | 14.6 | ±0.41 | 0.4 | ±20.7° | 13 |
| HPS-CFL020 | 23.435 | ±1.5 | 2 | ±18° | 13 |
| HPS-CFL025 | 43.9 | ±6 | 4 | ±8.9° | 70 |
| HPS-CFL029 | 4.238 | ±0.2 | 0.09 | ±33° | 7 |
| HPS-CFL030 | 32.5 | ±3.2 | 2 | ±13° | 52 |
| HPS-CFL033 | 16.13 | ±1.25 | 0.15 | ±30.4° | 10 |
| HPS-CFL036 | 11.3 | ±1.2 | 0.3 | ±35.23° | 12.4 |
| HPS-CFL037 | 35.9 | ±1.6 | 0.9 | ±19.2° | 37 |
| HPS-CFL040 | 24.45 | ±1.2 | 0.5 | ±23° | 28 |
| HPS-CFL041 | 48.5 | ±6 | 0.63 | ±16° | 32 |
| HPS-CFL042 | 68.45 | ±8 | 2.5 | ±11° | 65 |
| HPS-CFL043 | 7 | ±0.23 | 0.2 | ±44° | 7 |
| HPS-CFL047 | 171 | ±40 | 4.5 | ±7.7° | 30 |
| HPS-CFL052 | 51.24 | ±8.29 | 2.2 | ±15.4° | 38 |
| HPS-CFL053 | 19.98 | ±0.39 | 0.15 | ±33.4° | 3.1 |
| HPS-CFL054 | 9.83 | ±1.06 | 0.35 | ±46° | 15 |
| HPS-CFL055 | 18 | ±2 | 1.6 | ±45° | 10 |
| HPS-CFL060 | 46 | ±14 | 2.8 | ±14° | 44 |
| HPS-CFL094 | 9.09 | ±1.2 | 0.4 | ±62° | 12.8 |
